比利时鲁汶:Coventor该公司是一家微机电系统(MEMS)设计技术供应商,以及纳电子学研究中心Imec已宣布战略合作伙伴关系,以改进和扩大先进设计和制造技术的使用,以开发CMOS集成MEMS。
该伙伴关系包括在研发路线图方面的战略结盟,以及在高级研究课题上的合作。来自Imec和Coventor的团队将合作,扩大Imec对Coventor的MEMS + IC设计软件工具套件的使用。他们将共同为Imec的硅锗MEMS-above-IC工艺开发工艺设计套件(PDKs)。
基于两家公司在MEMS设计和制造方面的成功,该合作伙伴关系旨在开发解决方案,使MEMS更容易被MEMS和IC设计师使用。将开发工艺设计套件,以提高这种MEMS-IC协同设计的效率。该套件将针对Imec的SiGe MEMS技术,该技术采用MEMS-last方法。MEMS是在CMOS电路之后和顶部处理的,使MEMS器件与驱动和读出电子在同一模具上的单片集成。
SiGe MEMS平台的灵活和模块化的方法还允许特定应用的MEMS层厚度和性能的调整和优化,以及在MEMS器件上的可选功能层的处理。
该合作伙伴关系将利用Coventor在开发MEMS设计环境的必要基础设施方面的背景。
Coventor
www.coventor.com
Imec
www2.Imec.be /